一、真空機(jī)組工作過(guò)程
　?、傥鼩猓宏?yáng)轉(zhuǎn)子按逆時(shí)針?lè)较蛐D(zhuǎn)，陰螺桿按順時(shí)針?lè)较蛐D(zhuǎn)。吸氣過(guò)程即將開(kāi)始時(shí)的轉(zhuǎn)子位置。在這一時(shí)刻，這一對(duì)齒前端的型線完全嚙合，且即將與吸氣口連接。隨著轉(zhuǎn)子開(kāi)始轉(zhuǎn)動(dòng)，由于齒的一端逐漸脫離嚙合而形成了齒間容積，這個(gè)齒間容積的擴(kuò)大，在其內(nèi)部形成了一定的真空，而此齒間容積又僅與吸氣口連通，因此氣體便在壓差作用下流入其中。在隨后的轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)過(guò)程中，陽(yáng)轉(zhuǎn)子齒不斷從陰轉(zhuǎn)子齒的齒槽中脫離出來(lái)，齒間容積不斷擴(kuò)大，并與吸氣孔口保持連通。隨著轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)，齒間容積不會(huì)再增加，在此位置與吸氣孔口斷開(kāi)，吸氣過(guò)程結(jié)束。
　　②壓縮：陽(yáng)轉(zhuǎn)子沿順時(shí)針?lè)较蛐D(zhuǎn)，陰轉(zhuǎn)于沿逆時(shí)針?lè)较蛐D(zhuǎn)。此時(shí)氣體被轉(zhuǎn)子齒和機(jī)殼包圍在一個(gè)封閉的空間中，齒間容積由于轉(zhuǎn)于齒的嚙合就要開(kāi)始減小。隨著轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)，齒間容積由于轉(zhuǎn)子齒的嚙合而不斷減小。被密封在齒間容積中的氣體被占據(jù)體積也隨之減小，導(dǎo)致壓力升高，從而實(shí)現(xiàn)氣體的壓縮過(guò)程。
　?、叟艢猓糊X間容積與排氣孔口連通后，即開(kāi)始排氣過(guò)程。隨著齒間容積的不斷縮小，具有排氣壓力的氣體逐漸通過(guò)排氣孔口被排出，封閉的齒間容積的體積變?yōu)榱恪?br /> 　　二、性能特點(diǎn)
　　1、工作腔內(nèi)無(wú)潤(rùn)滑油存在，避免了因潤(rùn)滑油乳化、變質(zhì)而出現(xiàn)的運(yùn)行故障，提離了系統(tǒng)的穩(wěn)定性，可獲得清潔真空。工作腔及螺旋轉(zhuǎn)子表面有防腐涂層，可適應(yīng)惡劣的工況。
　　2、工作腔內(nèi)無(wú)油氣污染被抽氣體，工藝性氣體回收利用率髙，尾氣處理方便，同時(shí)也避免了油氣和油煙等的排放，環(huán)境污染小。
　　3、真空機(jī)組泵腔為間隙密封結(jié)構(gòu)，對(duì)少置小聯(lián)粒粉塵不敏感；采用防爆配置時(shí)可用于抽除易燃易爆的氣體。
　　4、氣體在泵腔內(nèi)無(wú)壓縮，泵工作時(shí)泵腔內(nèi)溫度達(dá)到1001以上，使可凝性氣不易冷凝，且泵腔內(nèi)為苴通結(jié)構(gòu)，排氣口在泵腔底部，雜物容易排出，因此適宜抽取可凝性氣體。
　　5、泵腔內(nèi)各零件采用間隙密封，零件間無(wú)接觸摩擦存在，抽氣效率離，可大大簡(jiǎn)化抽真空系統(tǒng)。
　　6、泵采用封閉式結(jié)構(gòu)，避免了泵工作時(shí)因動(dòng)密封磨損而出現(xiàn)的潤(rùn)滑油外漏現(xiàn)象。
　　12.真空機(jī)組結(jié)構(gòu)合理，能適應(yīng)多種維護(hù)、保養(yǎng)措施，對(duì)多種對(duì)泵有危害性的情況擁有相對(duì)應(yīng)的處理方法，并可配置相對(duì)應(yīng)的結(jié)構(gòu)或附件，針對(duì)性強(qiáng)、維護(hù)效果好，操作簡(jiǎn)單，處理時(shí)間短，能更好地保證設(shè)備的正常運(yùn)轉(zhuǎn)。
　　13.轉(zhuǎn)子均作級(jí)動(dòng)平衡試驗(yàn)，運(yùn)行時(shí)泵的振動(dòng)小，啟動(dòng)快，啟動(dòng)電流小，啟動(dòng)時(shí)對(duì)電網(wǎng)的沖擊小，啟動(dòng)后泵即達(dá)正常抽速。